Соколов , А. В.А. В.Соколов 2020-11-122020-11-122019Соколов А. В. Моделирование метрологических характеристик чувствительных элементов емкостных датчиков давлений / А. В. Соколов // Современные инновационные технологии подготовки инженерных кадров для горной промышленности и транспорта 2019 : сб. науч. тр.. международной. конф., г. Днепропетровск, 26‐27 апреля 2019 г. – Днепр : НТУ «ДП», 2019. – С. 152-157.http://ir.nmu.org.ua/handle/123456789/156683Чувствительные элементы (ЧЭ) и измерительные модули (ИМ) в датчиках физических величин является основными конструктивными и функциональными узлами, определяющими большинство метрологических характеристик датчиков: точность измерения, метрологическую надежность и информативность. В связи с этим, ЧЭ и ИМ подвергаются моделированию, расчету и испытаниям на всех этапах разработки измерительного канала. В статье рассмотрены вопросы моделирования ЧЭ квазидиф‐ференциального типа, используемых в емкостных датчиках давлений (ЕДД).ruемкостьчувствительный элементмодельдатчикквази‐ дифференциальныйМоделирование метрологических характеристик чувствительных элементов емкостных датчиков давленийModeling of the metrological characteristics of the sensitive elements of capacitive pressure sensorsArticle681.5.017; 681.5.03.23.