Publication:
Study of internal stresses in aluminum layers evaporated on dielectric surfaces

Thumbnail Image

Files

328-330.pdf (383.27 KB)

Date

2014

Authors

Shimanovich, D.

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

DOI

Research Projects

Organizational Units

Journal Issue

Abstract

Analysis  of  internal  stresses  in  evaporated  aluminum  layers  formed  at  various  sputtering  regimes  is  demonstrated.  Dependences  of  internal  stresses  on  the  thickness of aluminum films deposited at various substrate temperatures and evaporation  rates are studied. 

Description

Keywords

internal stresses , aluminum layer , deposition , sputtering regimes , modulus of elasticity

Citation

Shimanovich D. Study of internal stresses in aluminum layers evaporated on dielectric surfaces / D. Shimanovich // Современные инновационные технологии подготовки инженерных кадров для горной промышленности и транспорта 2014 = Contemporary Innovation Technique of the Engineering Personnel Training for the Mining and Transport Indusnry 2014 : сб. науч. тр. междунар. конф., 27-28 марта 2014 г., Украина, Днепропетровск / [орг. комитет: П. И. Пилов и др.] ; М-во образования и науки Украины, Гос. высш. учеб. заведение "Нац. горн. ун-т" [и др.]. — Днепропетровск : НГУ, 2014. — C. 328-330.

URI

http://ir.nmu.org.ua/handle/123456789/151811

Collections

Современные  инновационные технологии подготовки инженерных кадров для горной  промышленности и транспорта 2014, г. Днепропетровск, 27-28 марта : сб. науч. тр. междунар. конф.

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By