Перегляд Современные инновационные технологии подготовки инженерных кадров для горной промышленности и транспорта 2014, г. Днепропетровск, 27-28 марта : сб. науч. тр. междунар. конф. по темі "sputtering regimes"
Зараз показуються 1-1 з 1
-
Study of internal stresses in aluminum layers evaporated on dielectric surfaces
(2014)Analysis of internal stresses in evaporated aluminum layers formed at various sputtering regimes is demonstrated. Dependences of internal stresses on the thickness of aluminum films deposited at va ...