Repository logo
  • English
  • Yкраї́нська
Log In
New user? Click here to register.Have you forgotten your password?
  1. Home
  2. Матеріали конференцій
  3. Сучасні інноваційні технології підготовки інженерних кадрів для гірничої промисловості і транспорту
  4. Современные  инновационные технологии подготовки инженерных кадров для горной  промышленности и транспорта 2014, г. Днепропетровск, 27-28 марта : сб. науч. тр. междунар. конф.
  5. Study of internal stresses in aluminum layers evaporated on dielectric surfaces
 
  • Details

Study of internal stresses in aluminum layers evaporated on dielectric surfaces

Date Issued
2014
Author(s)
Shimanovich, D. 
Abstract
Analysis  of  internal  stresses  in  evaporated  aluminum  layers  formed  at 
various  sputtering  regimes  is  demonstrated.  Dependences  of  internal  stresses  on  the 
thickness of aluminum films deposited at various substrate temperatures and evaporation 
rates are studied. 
Subjects

internal stresses

aluminum layer

deposition

sputtering regimes

modulus of elasticity...

File(s)
Loading...
Thumbnail Image
Name

328-330.pdf

Size

383.27 KB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):efcee310395536669e76a579124af5f0

.

Built with DSpace-CRIS software - Extension maintained and optimized by 4Science

  • End User Agreement
  • Send Feedback
Repository logo COAR Notify