Моделирование метрологических характеристик чувствительных элементов емкостных датчиков давлений

Чувствительные элементы (ЧЭ) и измерительные модули (ИМ) в датчиках физических величин является основными конструктивными и функциональными узлами, определяющими большинство метрологических характеристик датчиков: точность измерения, метрологическую надежность и информативность. В связи с этим, ЧЭ и ИМ подвергаются моделированию, расчету и испытаниям на всех этапах разработки измерительного канала. В статье рассмотрены вопросы моделирования ЧЭ квазидиф‐ференциального типа, используемых в емкостных датчиках давлений (ЕДД).